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Optics and R & D Equipments

VUV / UV 広帯域 /狭帯域フィルター Pelham Research Optical

Pelham Research Optical LLC 

ペラム リサーチ Pelham Research Optical (PRO) 社は、高品質のVUV (Vacuum Ultraviolet) およびUV (Ultraviolet) 光学フィルター、ミラー、コーティングのメーカーです。VUV/UV波長域(120-320nm)の重要なコーティングに特化して最適化された最先端のコーティングチャンバーと、120nmまでの反射率・透過率を正確に測定できる高度な測定能力も備えています。

VUV-UV天文学と分析アプリケーションに特化した40年以上の経験を持つPROのチームは、TRACEプログラム、UVCS-SOHOミッション、ハッブル宇宙望遠鏡の広視野惑星カメラWFPC II、1993年のハッブル・サービング・ミッションのAFM(Actuated Fold Mirror)などに携わってきました。Pelham Research Optical社は、お客様の特定のアプリケーション要件を満たし、それを超える経験と能力を持っていますので、標準的な要件やカスタム要件については、今すぐお問い合わせください。

VUV/UVブロードバンドフィルター

130-320nm
Pelham Research Optical (PRO)社のVUV-UVブロードバンド(BB)光学フィルターの標準ラインは、波長に応じて35nm~50nm(FWHM)の典型的なバンド幅を持ち、最低透過率は30%です。PROフィルターの可視光除去率は、通常10-3~10-4です。

130nm~170nmのブロードバンド(BB)フィルターは、高純度VUVグレードのMgF2、CaF2、培養石英基板で製造されています。180nmから320nmまでのフィルターは、UVグレードの溶融シリカで製造されており、保護のためにカバーやエッジシールを施すことができます。詳しくは、カバーリングとエッジシールのデータシートをご覧ください。

VUV-UVブロードバンド(BB)フィルターの用途:
天文学、分析機器、バイオテクノロジー機器、元素分析、環境モニタリング、分光法など。

基板サイズ:
0.5" Dia. x 2mm
1.0" Dia. x 2.5mm
2.0" Dia. x 4mm
基板の仕様:
直径許容差:  +0.00/0.005"
厚さの許容範囲 :  ±0.25mm
表面形状 : <2λ(632.8nm)以下
平行度 : <3分
スクラッチ/ディグ: 20-10
ベベル: 0.3-0.5mm x 45度
クリアアパーチャー : 中心の85%

Peak Wavelength (nm) FWHM (nm) Min. Peak %T 0.5" Dia. 1.0" Dia. 2.0" Dia.
130 +/- 5 40 +/- 10 30 130-BB-.5D 130-BB-1D 130-BB-2D
140 +/- 5 60 +/- 10 30 140-BB-.5D 140-BB-1D 140-BB-2D
150 +/- 5 60 +/- 10 30 150-BB-.5D 150-BB-1D 150-BB-2D
160 +/- 5 45 +/- 10 30 160-BB-.5D 160-BB-1D 160-BB-2D
170 +/- 5 45 +/- 10 30 170-BB-.5D 170-BB-1D 170-BB-2D
180 +/- 5 S. Ph 40 +/- 10 30 180-BB-.5D 180-BB-1D 180-BB-2D
190 +/- 5 As 35 +/- 10 30 190-BB-.5D 190-BB-1D 190-BB-2D
200 +/- 5 Se 35 +/- 10 30 200-BB-.5D 200-BB-1D 200-BB-2D
210 +/- 5 35 +/- 10 30 210-BB-.5D 210-BB-1D 210-BB-2D
214 +/- 5 Zn 35 +/- 10 30 214-BB-.5D 214-BB-1D 214-BB-2D
220 +/- 5 Pb 35 +/- 10 30 220-BB-.5D 220-BB-1D 220-BB-2D
230 +/- 5 Cd. Ni 35 +/- 10 30 230-BB-.5D 230-BB-1D 230-BB-2D
240 +/- 5 Co. Tin 35 +/- 10 30 240-BB-.5D 240-BB-1D 240-BB-2D
250 +/- 5 40 +/- 10 30 250-BB-.5D 250-BB-1D 250-BB-2D
253.7 +/- 5 Hg 40 +/- 10 30 254-BB-.5D 254-BB-1D 254-BB-2D
260 +/- 5 Fe 40 +/- 10 30 260-BB-.5D 260-BB-1D 260-BB-2D
266 +/- 5 40 +/- 10 30 266-BB-.5D 266-BB-1D 266-BB-2D
270 +/- 5 Cr 45 +/- 10 30 270-BB-.5D 270-BB-1D 270-BB-2D
280 +/- 5 45 +/- 10 30 280-BB-.5D 280-BB-1D 280-BB-2D
290 +/- 5 50 +/- 10 30 290-BB-.5D 290-BB-1D 290-BB-2D
310 +/- 5 50 +/- 10 30 310-BB-.5D 310-BB-1D 310-BB-2D
320 +/- 5 50 +/- 10 30 320-BB-.5D 320-BB-1D 320-BB-2D
Peak Wavelength (nm) FWHM (nm) Min. Peak %T 0.5" Dia. 1.0" Dia. 2.0" Dia.

すべてのPelham Research社製光学フィルターには、そのVUV-UVスペクトル性能の詳細を示す、個別のVUV-UV %透過率グラフが付属しています。

 

VUV/UVナローバンドフィルター

120-320nm
Pelham Research Optical (PRO)社のVUV-UV NARROWBAND (NB)光学フィルターの標準ラインは、波長に応じて約20nm (FWHM)の典型的なバンド幅を持ち、最小透過率は15%です。PROフィルターの可視光除去率は、通常10-4です。 

122nm~161nmのナローバンド(NB)フィルターは、高純度VUVグレードのMgF2、CaF2、石英基板で製造されています。170nm~320nmのフィルターは、UVグレードの溶融シリカで製造されており、保護のためにカバーやエッジシールを施すことができます。詳しくは、カバーリングとエッジシールのデータシートをご覧ください。

VUV-UVナローバンド(NB)フィルターの用途:
天文学、分析機器、バイオテクノロジー機器、元素分析、環境モニタリング、分光法など。

基板サイズ (直径 x 厚さ)
0.5" Dia. x 2mm
1.0 "Dia.x 2.5mm
2.0 "Dia.x 4mm

基板仕様
直径の許容範囲 :  +0.00/0.005"
厚さの許容範囲 :   +/-公差:±0.25mm
表面形状 :   <2λ(632.8nm)以下
平行度 :   <3分
スクラッチ/ディグ: 20-10
ベベル: 0.3-0.5mm x 45度
クリアアパーチャー :   中心の85%
 

Peak Wavelength (nm) FWHM (nm) Min. Peak %T 0.5" Dia. 1.0" Dia. 2.0" Dia.
122 +/- 2.5 Lyman Alpha ~10 5 122-NBX-.5D 122-NBX-1D 122-NBX-2D
122 +/- 2.5 Lyman Alpha ~15 15 122-NBV-.5D 122-NBV-1D 122-NBV-2D
122 +/- 2.5 Lyman Alpha ~20 15 122-NB-.5D 122-NB-1D 122-NB-2D
125 +/- 2.5 20 +/- 5 15 125-NB-.5D 125-NB-1D 125-NB-2D
130 +/- 2.5 20 +/- 5 15 130-NB-.5D 130-NB-1D 130-NB-2D
135 +/- 2.5 20 +/- 7.5 15 135-NB-.5D 135-NB-1D 135-NB-2D
140 +/- 2.5 20 +/- 5 15 140-NB-.5D 140-NB-1D 140-NB-2D
147 +/- 2.5 20 +/- 7.5 15 147-NB-.5D 147-NB-1D 147-NB-2D
150 +/- 2.5 20 +/- 5 15 150-NB-.5D 150-NB-1D 150-NB-2D
155 +/- 2.5 C IV 20 +/- 5 12 155-NB-.5D 155-NB-1D 155-NB-2D
158 +/- 2.5 F Laser 20 +/- 5 12 158-NB-.5D 158-NB-1D 158-NB-2D
160 +/- 2.5 20 +/- 5 12 160-NB-.5D 160-NB-1D 160-NB-2D
161 +/- 2.5 20 +/- 7.5 12 161-NB-.5D 161-NB-1D 161-NB-2D
170 +/- 2.5 20 +/- 7.5 15 170-NB-.5D 170-NB-1D 170-NB-2D
172 +/- 2.5 Xe Laser 20 +/- 7.5 15 172-NB-.5D 172-NB-1D 172-NB-2D
180 +/- 2.5 20 +/- 7.5 15 180-NB-.5D 180-NB-1D 180-NB-2D
184.9 +/- 2.5 Hg 20 +/- 7.5 15 185-NB-.5D 185-NB-1D 185-NB-2D
190 +/- 2.5 20 +/- 5 15 190-NB-.5D 190-NB-1D 190-NB-2D
193 +/- 2.5 ArF Laser 20 +/- 5 15 193-NB-.5D 193-NB-1D 193-NB-2D
200 +/- 2.5 20 +/- 5 15 200-NB-.5D 200-NB-1D 200-NB-2D
205 +/- 2.5 20 +/- 5 15 205-NB-.5D 205-NB-1D 205-NB-2D
210 +/- 2.5 20 +/- 5 15 210-NB-.5D 210-NB-1D 210-NB-2D
214 +/- 2.5 Zn 20 +/- 5 15 214-NB-.5D 214-NB-1D 214-NB-2D
220 +/- 2.5 20 +/- 5 15 220-NB-.5D 220-NB-1D 220-NB-2D
222 +/- 2.5 KrCl Laser 20 +/- 5 15 222-NB-.5D 222-NB-1D 222-NB-2D
230 +/- 2.5 20 +/- 5 15 230-NB-.5D 230-NB-1D 230-NB-2D
240 +/- 2.5 20 +/- 5 15 240-NB-.5D 240-NB-1D 240-NB-2D
248 +/- 2.5 KrF Laser 20 +/- 5 15 248-NB-.5D 248-NB-1D 248-NB-2D
250 +/- 2.5 20 +/- 5 15 250-NB-.5D 250-NB-1D 250-NB-2D
253.7 +/- 2.5 Hg 20 +/- 5 15 253.7-NB-.5D 253.7-NB-1D 253.7-NB-2D
260 +/- 2.5 20 +/- 5 15 260-NB-.5D 260-NB-1D 260-NB-2D
265 +/- 2.5 20 +/- 5 15 265-NB-.5D 265-NB-1D 265-NB-2D
266 +/- 2.5 20 +/- 5 15 266-NB-.5D 266-NB-1D 266-NB-2D
270 +/- 2.5 20 +/- 5 15 270-NB-.5D 270-NB-1D 270-NB-2D
280 +/- 2.5 20 +/- 5 15 280-NB-.5D 280-NB-1D 280-NB-2D
282 +/- 2.5 XeBr Laser 20 +/- 5 15 282-NB-.5D 282-NB-1D 282-NB-2D
290 +/- 2.5 20 +/- 5 15 290-NB-.5D 290-NB-1D 290-NB-2D
296.7 +/- 2.5 Hg 20 +/- 5 15 296.7-NB-.5D 296.7-NB-1D 296.7-NB-2D
300 +/- 2.5 20 +/- 7.5 15 300-NB-.5D 300-NB-1D 300-NB-2D
308 +/- 2.5 XeCl Laser 20 +/- 7.5 15 308-NB-.5D 308-NB-1D 308-NB-2D
310 +/- 2.5 20 +/- 7.5 15 310-NB-.5D 310-NB-1D 310-NB-2D
313 +/- 2.5 20 +/- 7.5 15 313-NB-.5D 313-NB-1D 313-NB-2D
320 +/- 2.5 20 +/- 7.5 15 320-NB-.5D 320-NB-1D 320-NB-2D
Peak Wavelength (nm) FWHM (nm) Min. Peak %T 0.5" Dia. 1.0" Dia. 2.0" Dia.

すべてのPelham Research社製光学フィルターには、そのVUV-UVスペクトル性能の詳細を示す個別のVUV-UV %透過率グラフが付属しています。

分析用およびレーザーライン用狭帯域フィルターには、122nmライマンライン、155nmカーボンIV(C IV)ライン、158nmフッ素(F)ライン、172nmキセノン(XE)ライン、184. 9nm水銀(Hg)線、193nmフッ化アルゴン(ArF)レーザー線、214nm亜鉛(Zn)線、222nm(KrCl)レーザー線、248nm(KrF)レーザー線、253.7nm水銀(Hg)線、282nm(XeBr)レーザー線、296.7nm水銀(Hg)線、313nm水銀(Hg)線があります。
 

UVメタリックNDフィルター

ペラムリサーチオプティカルPelham Research Optical(PRO)社のUVメタリックND(UVND)フィルターは、光学濃度0.3~4.0までのスタンダードラインを揃えています。PROのUVNDフィルターは、200mから320nmまでの透過光の強度を均一に減衰させ、反射、透過、吸収の組み合わせの原理で目的の光学濃度を実現します。
ローパワーアプリケーション用 メタリックND(ニュートラル・デンシティ)フィルターは、 顕微鏡検査や光学キャリブレーションに使用されます。
PROのNDフィルターはすべてカバー付きでエッジシールされています。詳細については、カバーリングとシールのデータシートをご覧ください。


 

Optical Density (O.D.)  Nominal Transmittance Transmission Tolerance Plus or Minus %T  0.5" Dia  1" Dia 2" Dia
0.3 50% ± 8% T 0.3UVND-.5D 0.3UVND-1D 0.3UVND-2D
0.5 30% ± 5% T 0.5UVND-.5D 0.5UVND-1D 0.5UVND-2D
1.0 10% ± 2.5% T 1UVND-.5D 1UVND-1D 1UVND-2D
1.5 3% ± 0.7% T 1.5UVND-.5D 1.5UVND-1D 1.5UVND-2D
2.0 1% ± 0.4% T 2UVND-.5D 2UVND-1D 2UVND-2D
3.0 0.1% ± 0.06% T 3UVND-.5D 3UVND-1D 3UVND-2D
4.0 0.01% ± 0.008% T 4UVND-.5D 4UVND-1D 4UVND-2D

すべてのPelham Research Optical社製フィルターには、そのUVスペクトル性能の詳細を示すUV %透過率グラフが付属しています。
 

UVビームスプリッター

Pelham Research Optical (PRO)社は、広帯域UVメタリック ビームスプリッター(UVBS)を製造しています。波長は170nmから300nm @ 45° AOIで、平均反射率と透過率は40%から50%です。
これらのUVBSフィルターは、カバーやエッジシールができません。オープンフェイスのフィルターとして提供されます。
PRO UVBSコーティングは、お客様の機器の要件に合わせて、さまざまなサイズの基板にコーティングすることができます。
光ビームは、まずコーティングされた表面(反射面)に入る必要があります。メタリックのビームスプリッターは、誘電体製のビームスプリッターに比べて、より広い波長をカバーすることができます。UVBSはメタリックコーティングされているため、低出力のアプリケーション用に設計されています。


基板サイズ
0.5インチDia.x 2mm
1.0インチ径×2.5mm
2.0インチ径×4mm

%R and %T Average 1.0" Dia. 2.0" Dia.
40-50% UVBS45-1D UVBS45-2D

すべてのPelham Research社製光学フィルターには、そのVUV-UVスペクトル性能の詳細を示す個別のVUV-UV %反射率/透過率グラフが付属しています。
 

VUV/UV広帯域メタリックコーティング

Pelham Research Optical (PRO)社のVUV/UVブロードバンドミラーコーティングは、重要な真空波長で優れた反射率を提供するように設計されています。これにより、VUV波長域での低照度アプリケーションのスループットが向上します。安定した品質を確保するため、すべてのコーティングバッチは12度AOIで反射率を測定しています。コーティングは、お客様から提供された材料だけでなく、お客様から提供された図面に基づいたものにも施すことができます。

VUV/UVブロードバンドミラーコーティングの用途:
分析機器、DUV分光器、ICP分光器、半導体計測機器、天文機器など。






 

Peak Wavelength Reflectance @12 Degrees Part Number
120nm >/=78% PRO#120
160nm >/=84% PRO#160
190nm >/=88% PRO#190

すべてのPelham Research Optical社製フィルターには、そのVUV-UVスペクトル性能の詳細を示す個別のUV %反射率グラフが付属しています。