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光関連装置と部品、研究開発のための装置と部品の販売

Optics and R & D Equipments

VUV/UV レーザー光学部品 TELEDYNE Acton Optics

TELEDYNE Acton Optics

TELEDYNE Acton Optics
のハイパワーUVレーザーミラーは、高エネルギーのエキシマレーザーやUVレーザー用に設計された多層誘電体コーティングミラーです。これらのコーティングにより、優れた高ダメージ閾値が得られます。当社では、これらのビームターニングミラーおよび垂直入射ミラーの在庫を保有しており、お客様の施設に迅速にお届けします。アクトンのミラーブランクやお客様からいただいた材料にミラーやコーティングを施すことで、大量生産、大量供給が可能となり、価格競争力を保つことができます。

エキシマレーザー& UVレーザーミラー

TELEDYNE Acton OpticsのエキシマおよびUVレーザーミラーは、高エネルギーのエキシマレーザー用に設計された多層誘電体コーティングミラーです。これらのコーティングは、高いダメージ閾値の要求を満たしながら、優れた反射率をもたらします。40年以上のエキシマコーティングの設計・開発経験を持つアクトンは、お客様のスペクトル、偏光、アプリケーションの要求に合わせてコーティングを設計することができます。TELEDYNE Acton Opticsは、ビームターンミラーと通常の入射ミラーの在庫を保有しており、お客様の施設に迅速にお届けします。
エキシマレーザ用光学部品は大量生産が可能であり、価格競争力があります。また、高度な訓練を受けた技術者とクリーンルーム施設を利用して、すぐに設置できる光学アセンブリを提供することもできます。


UV/エキシマレーザ用ミラー - 標準光学部品
Wavelength % Reflectance 1.0” Diameter 2.0” Diameter
126nm ≥ 55% @ NI M126-FR-1D-MB M126-FR-2D-MB
≥ 50% @ 45° AOI M126-FR45-1D-MB M126-FR45-2D-MB
147nm ≥ 75% @ NI M147-FR-1D-MB M147-FR-2D-MB
≥ 70% @ 45° AOI M147-FR45-1D-MB M147-FR45-2D-MB
157nm ≥ 89% @ NI M157-FR-1D-MB M157-FR-2D-MB
≥ 87% @ 45° AOI M157-FR45-1D-MB M157-FR45-2D-MB
172nm ≥ 93% @ NI M172-FR-1D-MB M172-FR-2D-MB
≥ 90% @ 45° AOI M172-FR45-1D-MB M172-FR45-2D-MB
193nm e ≥ 98% @ NI M193-FRe-1D-MB M193-FRe-2D-MB
≥ 97% @ 45° AOI M193-FR45e-1D-MB M193-FR45e-2D-MB
193nm XL ≥ 97% @ NI M193-FRXL-1D-MB M193-FRXL-2D-MB
≥ 96% @ 45° AOI M193-FRXL45-1D-MB M193-FRXL45-2D-MB
248nm ≥ 98% @ NI M248-FR-1D-MB M248-FR-2D-MB
≥ 97% @ 45° AOI M248-FR45-1D-MB M248-FR45-2D-MB
308nm ≥ 98% @ NI M308-FR-1D-MB M308-FR-2D-MB
≥ 97% @ 45° AOI M308-FR45-1D-MB M308-FR45-2D-MB
353nm ≥ 99% @ NI M353-FR-1D-MB M353-FR-2D-MB
≥ 98% @ 45° AOI M353-FR45-1D-MB M353-FR45-2D-MB

赤い文字はACTONのWeb Siteで反射グラフを見ることが出来ます。
https://www.actonoptics.com/products/excimer-laser-optics


アクトンオプティクスのUV/エキシマコーティングの主な利点。
◉ 最高のダメージしきい値
◉ 最も長い寿命
◉ 多彩なコーティングが可能
◉ すべてのエキシマ波長:157nm、193nm、248nm、308nm、353nm
 
アクトンオプティクス社のUV/エキシマコーティングの主なアプリケーション。
◉ エキシマレーザによる視力矯正システム(レーシック)
◉ 半導体レーザーおよび計測システム
◉ 材料加工アプリケーション
 

Nd:YAGハイブリッドレーザーミラー

TELEDYNE Acton Opticsの「ハイブリッド」355nm Nd:YAGコーティングは、TELEDYNE Acton Opticsのコーティング成膜とプロセス制御に関する広範な専門知識を組み合わせて、高出力と高繰返しに対応できるコーティングを実現しています。これらのコーティングは、15.27J/cm2のレーザー損傷しきい値テストに100kHzまでの繰り返しで耐えており、0度入射および45°AOIに対応しています。詳細は以下の表をご参照ください。
光学部品は大量生産、大量供給が可能なため、価格は非常に競争力のあるものとなっています。また、高度な訓練を受けた技術者とクリーンルームを利用して、「すぐに取り付けられる」光学部品を提供することも可能です。

355nmレーザーミラー

  % R Wavelength 1.0" Part Numbers 2.0" Part Numbers Damage
Threshold
355 nm @ Near Normal Incidence 99.9% 355 M355-FR-HY-1D-MB M355-FR-HY-2D-MB > 15 J/cm2*
355 nm @ 45° AOI ≥ 99% 355 M355-FR45-HY-1D-MB M355-FR45-HY-2D-MB > 15 J/cm2*

* at rep rates up to 100 kHz
赤い文字はACTONのWeb Siteで反射グラフを見ることが出来ます。
https://www.actonoptics.com/products/ndyag-mirrors

  

 

2波長レーザーミラー

レーザーグレードの基板に電子ビームで蒸着された特殊な多層誘電体コーティングにより、高エネルギーのエキシマレーザーやUVレーザーの波長を最大限に反射し、さらに特定の可視レーザーの波長で50%以上の反射率を同じミラーで実現しています。 
 
標準的なミラーは、Nd:YAGレーザーの高調波およびエキシマ/HeNeレーザーの反射鏡として設計されています。これらのミラーは、レーザー高調波発生やエキシマ・アライメントのアプリケーションのための2波長反射を可能にします。アクトンは、248nm、308nm、353nmのエキシマ波長と266nm(下記)の標準45°ミラーを用意しています。

2波長UV/エキシマレーザーミラー
Wavelength Angle of
Incidence
248nm
% R
633nm
% R
1.0" Part Numbers 2.0" Part Numbers
248/633nm @ Near Normal Incidence ≥ 97% ≥ 80% M248/633-FR-1D-MB M248/633-FR-2D-MB
248/633nm @ 45° AOI ≥ 97% ≥ 80% M248/633-FR45-1D-MB M248/633-FR45-2D-MB
266/633nm @ Near Normal Incidence ≥ 97% ≥ 80% M266/532-FR-1D-MB M266/532-FR-2D-MB
266/532nm @ 45° AOI ≥ 97% ≥ 80% M266/532-FR45-1D-MB M266/532-FR45-2D-MB
308/633nm @ Near Normal Incidence ≥ 97% ≥ 80% M308/303-FR-1D-MB M308/633-FR-2D-MB
308/633nm @ 45° AOI ≥ 97% ≥ 80% M308/633-FR45-1D-MB M308/633-FR45-2D-MB
353/633nm @ Near Normal Incidence ≥ 98% ≥ 80% M353/633-FR-1D-MB M353/633-FR-2D-MB
353/633nm @ 45° AOI ≥ 98% ≥ 80% M353/633-FR45-1D-MB M353/633-FR45-2D-MB
   


 

VUV/UVレーザービームスプリッター

誘電体、低吸収の多層膜で、レーザー出力のカプラーやビームスプリッター用途に最適です。126 nmから353 nmまでの全波長域のビームスプリッターは、高出力レーザー用途で優れた性能を発揮するように、指定されたレーザー波長と入射角で反射率と透過率が校正されています。標準的なビームスプリッターは、ランダム偏光用に設計されています。
アクトンオプティクス&コーティングスは、水平 "P "偏光や垂直 "S "偏光など、お客様のご要望に応じてビームスプリッターをカスタム設計いたします。必要に応じて、ビームスプリッターの後面に反射防止コーティングを施すことも可能です。コーティングは、アクトンの標準的な基板に施すことができます。

VUV/UVレーザービームスプリッター

Wavelength 10% +/-2% 30% +/-5% 50% +/-5% 70% +/-5% 90% +/-5%
126nm M126-P1045 M126-P3045 M126-P5045 M126-P7045 M126-P9045
147nm M147-P1045 M147-P3045 M147-P5045 M147-P7045 M147-P9045
157nm M157-P1045 M157-P3045 M157-P5045 M157-P7045 M57-P9045
172nm M172-P1045 M172-P3045 M172-P5045 M172-P7045 M172-P9045
193nm M193-P1045 M193-P3045 M193-P5045 M193-P7045 M93-P9045
248nm M248-P1045 M248-P3045 M248-P5045 M248-P7045 M248-P9045
266nm M266-P1045 M266-P3045 M266-P5045 M266-P7045 M266-P9045
308nm M308-P1045 M308-P3045 M308-P5045 M308-P7045 M308-P9045
353nm M353-P1045 M353-P3045 M353-P5045 M353-P7045 M353-P9045

注:ビームスプリッターのコーティングパーツ番号(透過率ベース)

基板はMgF2   CaF2    フューズドシリカの3種類のウインドウから選びます。
裏面ARコートの指定が出来ます。
入射角45°の場合、入射するビームの偏光SまたはP、または無偏光をお知らせ下さい。
スタンダードサイズは、基板のページをご覧ください。


完全なビームスプリッターの場合
コーティング部品番号 + 基板部品番号 =完全なビームスプリッター

例えば、以下のようになります。
308nm、45°、透過率30%のビームスプリッターを、1.0インチフラットUVグレード石英基板上の場合。
部品番号:M308-P3045-1D-MB
裏面使用のコーティングは、コーティングの品番に「-S2」を追加して指定する必要があります。

上記の品番は、45°の入射角のコーティングのみです。入射角0°でのコーティングが必要な場合は、コーティングの品番から「45」を削除してください。
例:部品番号M193-P1045は、部品番号M193-P10となります。
一般的に、170nm以上のビームスプリッターには、レーザーグレードのUV石英基板を推奨します。
ビームスプリッターのコーティングは、お客様がご用意された素材に施すことも可能です。

 

ダイクロイック・ミラー(Dichroic Mirror)

UV/VISダイクロイックミラー
UV/VISダイクロイックミラーは、特殊な多層誘電体コーティングが施されており、広帯域のVIS/NIR透過率でUVレーザの主波長を反射することができます。ダイクロイックミラーは、通常、ビームコンバインやビームセパレーションに使用されます。下記の標準的なダイクロイックミラーは、UVレーザーグレードのフューズドシリカを基板とし、45°での使用に最適化されていますが、ご要望に応じて他の角度での使用も可能です。また、145 nmから約355 nmまでのUV反射波長に対応しています。
 
UV/IRダイクロイックミラー
UV/IRダイクロイックミラーは、紫外レーザーの波長を反射し、赤外までの波長を透過するように設計されています。このミラーのコーティングは、高品質のCaF2基板上に電子ビームで蒸着された特殊な変性多層誘電体デザインです。TELEDYNE Acton OpticsのUV/IRダイクロイックミラーは、下記のUV波長を反射し、約8 µmまでの透過率を実現しています。

UV/VISダイクロイックミラー - 標準石英ミラー基板

UV Wavelength 45 Reflectance 1.0" dia. (25.4mm) 1.5" dia. (38.1mm) 2.0" dia (50.8mm)
193nm ≥ 94% 193/V-FR45-1D-MB 193/V-FR45-1.5D-MB 193/V-FR45-2D-MB
212nm ≥ 95% 212/V-FR45-1D-MB 212/V-FR45-1.5D-MB 212/V-FR45-2D-MB
248nm ≥ 96% 248/V-FR45-1D-MB 248/V-FR45-1.5D-MB 248/V-FR45-2D-MB
266nm ≥ 96% 266/V-FR45-1D-MB 266/V-FR45-1.5D-MB 266/V-FR45-2D-MB
308nm ≥ 96% 308/V-FR45-1D-MB 308/V-FR45-1.5D-MB 308/V-FR45-2D-MB
353nm ≥ 98% 353/V-FR45-1D-MB 353/V-FR45-1.5D-MB 353/V-FR45-2D-MB

UV/IR ダイクロイックミラー - CaF2 基板
 

UV Wavelength 45 Reflectance 1.0" dia. (25.4mm) 1.5" dia. (38.1mm) 2.0" dia (50.8mm)
193nm ≥ 94% 193/IR-FR45-1D-FLC 193/IR-FR45-1.5D-FLC 193/IR-FR45-2D-FLC
212nm ≥ 95% 212/IR-FR45-1D-FLC 212/IR-FR45-1.5D-FLC 212/IR-FR45-2D-FLC
248nm ≥ 96% 248/IR-FR45-1D-FLC 248/IR-FR45-1.5D-FLC 248/IR-FR45-2D-FLC
266nm ≥ 96% 266/IR-FR45-1D-FLC 266/IR-FR45-1.5D-FLC 266/IR-FR45-2D-FLC
308nm ≥ 96% 308/IR-FR45-1D-FLC 308/IR-FR45-1.5D-FLC 308/IR-FR45-2D-FLC
353nm ≥ 98% 353/IR-FR45-1D-FLC 353/IR-FR45-1.5D-FLC 353/IR-FR45-2D-FLC




 

UVナローバンドAR-Coated Windows


アクトンの狭帯域反射防止膜は、電子ビームで蒸着された耐久性のある誘電体で、通常はコーティングされていない基板の表面から発生する反射を最小限に抑えるように設計されています。これらの低吸収コーティングは、レンズの透過率を高めたり、ビームスプリッターの第二表面反射を抑えるのに適しています。反射防止膜は、レーザーダメージへの耐性に優れ、高出力での使用に適しています。
標準的な "V-type "反射防止膜は、126 nmから353 nmの特定の波長に対応しています。
注:部品番号はアクトンの標準在庫基板のものです。

エキシマレーザー - 狭帯域反射防止コーティングウィンドウ

Wavelength 1" Part Number 2” Part Number % Reflectance N.I.
126nm M126-2AR-1D-FL M126-2AR-2D-FL ≤ 0.5% @ 126nm
147nm M147-2AR-1D-FL M147-2AR-2D-FL ≤ 0.5% @ 147nm
157nm M157-2AR-1D-FL M157-2AR-2D-FL ≤ 0.5% @ 157nm
172nm M172-2AR-1D-FL M172-2AR-2D-FL ≤ 0.3-0.5% @ 172nm
193nm M193-2AR-1D-FL M193-2AR-2D-FL ≤ 0.3-0.5% @193nm
248nm M248-2AR-1D-FL M248-2AR-2D-FL ≤ 0.2-0.5% @248nm
308nm M308-2AR-1D-FL M308-2AR-2D-FL ≤ 0.2-0.5% @308nm
353nm M353-2AR-1D-FL M353-2AR-2D-FL ≤ 0.2-0.5% @353nm








 

ブロードバンドARコート付きウィンドウ


UVブロードバンド反射防止膜は、耐久性のある電子ビーム蒸着の誘電体で、コーティングされていない表面で通常発生する反射を最小限に抑えるように設計されています。
この低吸収コーティングは、レンズの透過率を高めたり、ビームスプリッターの第二表面反射を抑えるのに適しています。また、耐レーザー性にも優れており、高エネルギーレーザーの使用にも適しています。以下は、TELEDYNE Acton Opticsが提供するコーティングおよびコーティングされた窓の一例です。また、V型反射防止膜も取り扱っています。

UVレーザー - 広帯域反射防止コーティング

Wavelength % Reflectance N.I.
355-532-1064nm ≤ 0.5% per wavelength
400-800nm ≤ 0.5% average