JUSTY Inc.

光関連装置と部品、研究開発のための装置と部品の販売

Optics and Optical Instruments

VUV / UV フィルター Teledyne Acton Optics


Teledyne Acton Optics

VUV / UV 狭帯域フィルター

アクトンの標準的な狭帯域光学フィルターは、最高品質の光学材料から作られており、多くの研究および産業用途に使用されています。
フィルターは、出荷前に目視と光学検査を行い、各フィルターの性能特性を示す個別の透過率曲線を添付しています。また、詳細な "rejection "カーブを製造時に購入することも可能です。他の波長やサイズ、高画質フィルターもご用意しています。

 

狭帯域VUV / UV光学フィルター

ピーク波長

FWHM
(nm)

最小 ピーク
透過率

直径0.5
インチ、厚さ2 mm

1.0 "直径
2.5 mm厚

2.0 "直径
4 mm厚

122 +/- 2.5 nm

最大10

5%

FN122-XN-.5D

FN122-XN-1D

FN122-XN-2D

122 +/- 2.5 nm

最大15

10%

FN122-VN-.5D

FN122-VN-1D

FN122-VN-2D

122 +/- 2.5 nm

最大20

15%

FN122-N-.5D

FN122-N-1D

FN122-N-2D

126 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN126-N-.5D

FN126-N-1D

FN126-N-2D

130 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN130-N-.5D

FN130-N-1D

FN130-N-2D

135 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN135-N-.5D

FN135-N-1D

FN135-N-2D

140 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN140-N-.5D

FN140-N-1D

FN140-N-2D

147 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN147-N-.5D

FN147-N-1D

FN147-N-2D

150 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN150-N-.5D

FN150-N-1D

FN150-N-2D

155 +/- 2.5nm

20 +/- 5

12%

FN155-N-.5D

FN155-N-1D

FN155-N-2D

157 +/- 2.5nm

20 +/- 5

12%

FN157-N-.5D

FN157-N-1D

FN157-N-2D

160 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

12%

FN160-N-.5D

FN160-N-1D

FN160-N-2D

172 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN172-N-.5D

FN172-N-1D

FN172-N-2D

180 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN180-N-.5D

FN180-N-1D

FN180-N-2D

185 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN185-N-.5D

FN185-N-1D

FN185-N-2D

185 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

10%

FN185-HR-.5D

FN185-HR-1D

FN185-HR-2D

190 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN190-N-.5D

FN190-N-1D

FN190-N-2D

193 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN193-N-.5D

FN193-N-1D

FN193-N-2D

200 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN200-N-.5D

FN200-N-1D

FN200-N-2D

205 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN205-N-.5D

FN205-N-1D

FN205N-2D

210 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN205-N-.5D

FN205-N-1D

FN205-N-2D

214 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN214-N-.5D

FN214-N-1D

FN214-N-2D

220 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN220-N-.5D

FN220-N-1D

FN220-N-2D

222 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN222-N-.5D

FN222-N-1D

FN222-N-2D

230 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN230-N-.5D

FN230-N-1D

FN230-N-2D

240 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN240-N-.5D

FN240-N-1D

FN240-N-2D

250 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN250-N-.5D

FN250-N-1D

FN250-N-2D

254 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN254-N-.5D

FN254-N-1D

FN254-N-2D

注: フィルターは、320 nmまでのすべての波長で使用できます。FWHM、ピーク透過率、およびピーク波長の仕様は、上記のピーク波長範囲内です。
 

UVバンドパスフィルター 標準的なバンドパスフィルタの構造

オープンフェイス


オープンフェイス設計には、片面に光学フィルターコーティングが施された基板が含まれます。ソフトフィルターコーティングが露出しているため、開口フィルターは注意して取り扱わなければなりません。


水分、大気汚染物質、または取り扱いによる潜在的な損傷は、密閉することで軽減できます。
以下に示すように、フューズドシリカ保護カバー付きフィルター (190nm 以上でのみ利用可能)。

カバー/エッジシール

190nmを超えるフィルターには、保護のためにフューズドシリカカバーを取り付けることができます。図に示すように、基板の間にスペーサーリングを配置して小さなエアギャップを形成し、エッジをシールします。この設計により、繊細なフィルターコーティングに触れるリスクなしにフィルターを処理できます。フィルタを覆うと、透過率が2〜3%低下することに注意してください。

エッジシーリングにより、フィルターの直径が約0.010インチ(0.254mm)増えます。カバー付きエッジシールフィルターの総厚は、オープンフェイス設計の約2倍です。正確な寸法は、Optics Sales Departmentから入手できます。

マウントリング

必要に応じて、金属製のマウントリングで、オープンフィルターまたはカバー付きフィルター(エッジシーラントなし)を提供できます。
リングはアルミ製で、黒色の陽極酸化処理が施されています。以下に概説するように、フィルターを取り付けると、開口が小さくなり、外径が大きくなります。


-N、-B、-W、および-VBBフィルターの直径について
注:特に指定のない限り、フィルターはオープンフェイスで提供されます。

* 2.0”直径122-157nmフィルターは5mm厚です。

Unmounted
Filter
Diameter
Diameter
Tolerance
Mounted Filter
Diameter ±0.005”
Unmounted
Filter
Thickness
Mounted
Thickness
Clear
Aperture
0.5” (12.7mm) +0.00”/-0.005” (0.127mm) 0.625” (15.88mm) 0.079" (2mm) 0.300” (7.62mm) 0.450” (11.43mm)
1.0” (25.4mm) +0.00”/-0.005” (0.127mm) 1.200” (30.48mm) 0.098" (2.5mm) 0.375” (9.53mm) 0.800” (20.32mm)
2.0” (50.8mm) +0.00”/-0.005” (0.127mm) 2.225” (56.52mm) 0.197" (4mm) 0.500” (12.7mm) 1.900” (48.26mm)

フィルター素材について

波長

<140nm

140-169nm

170-320nm

基板材料

VUV MgF2

VUV CaF2

UVグレード フューズドシリカ












 

VUV / UV ブロードバンド フィルター

アクトンの標準的な広帯域光学フィルターは、最高品質の光学材料から作られており、多くの研究および産業用途で使用されています。
フィルターは出荷前に目視および光学的検査が行われ、各フィルターの性能特性を示す個別の透過率曲線が付属しています。また、製造時に詳細リジェクション曲線を購入することができます。他の波長、サイズ、画質フィルターもございます。

ピーク

波長(nm)

FWHM
(nm)

最小 ピーク
透過率

0.5 "直径
2mm厚

1.0”直径
2.5mm厚

2.0”直径
4mm厚

130 +/- 5nm

40 +/- 10

30%

FB130-B-.5D

FB130-B-1D

FB130-B-2D

140 +/- 5nm

60 +/- 10

30%

FB140-B-.5D

FB140-B-1D

FB140-B-2D

150 +/- 5nm

60 +/- 10

30%

FB150-B-.5D

FB150-B-1D

FB150-B-2D

180 +/- 5nm

40 +/- 10

30%

FB180-B-.5D

FB180-B-1D

FB180B-2D

190 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB190-B-.5D

FB190-B-1D

FB190B-2D

200 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB200-B-.5D

FB200-B-1D

FB200-B-2D

210 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB210-B-.5D

FB210-B-1D

FB210-B-2D

214 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB214-B-.5D

FB214-B-1D

FB214-B-2D

220 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB220-B-.5D

FB220-B-1D

FB220-B-2D

230 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB230-B-.5D

FB230-B-1D

FB230-B-2D

240 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB240-B-.5D

FB240-B-1D

FB240-B-2D

250 +/- 5nm

40 +/- 10

30%

FB250-B-.5D

FB250-B-1D

FB250-B-2D

254 +/- 5nm

40 +/- 10

30%

FB254-B-.5D

FB254-B-1D

FB254-B-2D


注: フィルターは、320 nmまでのすべての波長で使用できます。FWHM、ピーク透過率、およびピーク波長の仕様は、上記のピーク波長範囲内です。











 

VUV/UVワイドバンドフィルター

Peak
Wavelength (nm)
FWHM
(nm)
Min. Peak
Transmission
0.5” Diameter
2mm Thick
1.0” Diameter
2.5mm Thick
2.0” Diameter
4mm thick
130 +/-10nm 100 +/-25 40% FW130-W-.5D FW130-W-1D FW130-W-2D
160 +/-10nm 100 +/-25 45% FW160-W-.5D FW160-W-1D FW160-W-2D
200 +/-10nm 60 +/-20 45% FW200-W-.5D FW200-W-1D FW200-W-2D
250 +/-10nm 80 +/-20 45% FW250-W-.5D FW250-W-1D FW250-W-2D
300 +/-10nm 100 +/-25 45% FW300-W-.5D FW300-W-1D FW300-W-2D



 

VUV/UV NDフィルター

Teledyne Acton OpticsのVUVニュートラル デンシティ フィルターは、金属フィルムに誘電体の保護層を重ねたものである。120nm~200nmの領域の濃度は、このフィルムの透過率、反射率、吸収率の組み合わせで決まります。また、200nm〜320nmの紫外波長域用の中性濃度フィルターもラインナップしています。

120nm~200nmの透過率を個別に校正し、透過率曲線を添付しています。ND5およびND6フィルターは特注品です。160.8nmや253.7nmなどの強いスペクトル線でのみ校正されています。VUVフィルターはUVグレードのMgF2にコーティングされており、UVフィルターはUVグレードの石英にコーティングされています。
注:VUVとUVのニュートラル デンシティ フィルターは、アルマイト処理されたメタルリングでの提供も可能です。

 

VUV Neutral Density Filters: 120 - 200 nm

Optical
Density
Nominal
Transmission
Transmission
Range
0.5"
Part Numbers
1.0"
Part Numbers
2.0"
Part Numbers
0.3 50% 42-58% FND0.3-.5D-V FND0.3-1D-V FND0.3-2D-V
0.5 30% 25-35% FND0.5-.5D-V FND0.5-1D-V FND0.5-2D-V
1.0 10% 8-12% FND1-.5D-V FND1-1D-V FND1-2D-V
1.5 3.0% 2.5-3.5% FND1.5-.5D-V FND1.5-1D-V FND1.5-2D-V
2.0 1.0% 0.7-1.4% FND2-.5D-V FND2-1D-V FND2-2D-V
3.0 0.1% 0.06-0.17% FND3-.5D-V FND3-1D-V FND3-2D-V
4.0 0.01% 0.005-0.02% FND4-.5D-V FND4-1D-V FND4-2D-V
5.0 0.001% 0.0007-0.0015% FND5-.5D-V FND5-1D-V FND5-2D-V
6.0 0.0001% 0.00007-0.00014% FND6-.5D-V FND6-1D-V FND6-2D-V
注:すべてのVUV NDフィルターの基板はMgF2です。
 

UV Neutral Density Filters: 200 - 320 nm

Optical
Density
Nominal
Transmission
Transmission
Range
0.5"
Part Numbers
1.0"
Part Numbers
2.0"
Part Numbers
0.3 50% 42-58% FND0.3-.5D-M FND0.3-1D-M FND0.3-2D-M
0.5 30% 25-35% FND0.5-.5D-M FND0.5-1D-M FND0.5-2D-M
1.0 10% 8-12% FND1-.5D-M FND1-1D-M FND1-2D-M
1.5 3.0% 2.5-3.5% FND1.5-.5D-M FND1.5-1D-M FND1.5-2D-M
2.0 1.0% 0.7-1.4% FND2-.5D-M FND2-1D-M FND2-2D-M
3.0 0.1% 0.06-0.17% FND3-.5D-M FND3-1D-M FND3-2D-M
4.0 0.01% 0.005-0.02% FND4-.5D-M FND4-1D-M FND4-2D-M
5.0 0.001% 0.0007-0.0015% FND5-.5D-M FND5-1D-M FND5-2D-M
6.0 0.0001% 0.00007-0.00014% FND6-.5D-M FND6-1D-M FND6-2D-M
注:基板の材質は、すべてのUV NDフィルターでフューズドシリカを使用しています。



 

VUV/UV ノッチ - 反射型フィルター

多層反射フィルターは、特定のVUVからUVの波長で高い反射率を持ち、より長波長のUVからIRの光を透過させる全誘電体の反射板です。45度のAOIで設計されています。
ピーク波長250nm以上のカスタムUVフィルターは、DUV-VUV透過率が~210nm以下のものがあります。
注:コーティングは、アクトンの標準基板、カスタム基板に施すことができます。
VUV/UV反射フィルター - アクトン標準フィルター   45° AOI
 

Wavelength Peak
Reflectance
1.0”
Part Numbers
1.5”
Part Numbers
2.0”
Part Numbers
126nm ≥ 40% M126-3045-1D M126-3045-1.5D M126-3045-2D
146nm ≥ 45% M146-3045-1D M146-3045-1.5D M146-3045-2D
157nm ≥ 82% M157-3045-1D M157-3045-1.5D M157-3045-2D
172nm ≥ 82% M172-3045-1D M172-3045-1.5D M172-3045-2D
185nm ≥ 82% M185-3045-1D M185-3045-1.5D M185-3045-2D
193nm ≥ 82% M193-3045-1D M193-3045-1.5D M193-3045-2D
200nm ≥ 90% M200-3045-1D M200-3045-1.5D M200-3045-2D
208nm ≥ 90% M208-3045-1D M208-3045-1.5D M208-3045-2D
212nm ≥ 90% M212-3045-1D M212-3045-1.5D M212-3045-2D
220nm ≥ 90% M220-3045-1D M220-3045-1.5D M220-3045-2D
240nm ≥ 90% M240-3045-1D M240-3045-1.5D M240-3045-2D
248nm ≥ 90% M248-3045-1D M248-3045-1.5D M248-3045-2D
254nm ≥ 90% M254-3045-1D M254-3045-1.5D M254-3045-2D
260nm ≥ 90% M260-3045-1D M260-3045-1.5D M260-3045-2D
266nm ≥ 90% M266-3045-1D M266-3045-1.5D M266-3045-2D
280nm ≥ 90% M280-3045-1D M280-3045-1.5D M280-3045-2D
300nm ≥ 90% M300-3045-1D M300-3045-1.5D M300-3045-2D
320nm ≥ 90% M320-3045-1D M320-3045-1.5D M320-3045-2D
340nm ≥ 90% M340-3045-1D M340-3045-1.5D M340-3045-2D
352nm ≥ 90% M352-3045-1D M352-3045-1.5D M352-3045-2D
360nm ≥ 90% M360-3045-1D M360-3045-1.5D M360-3045-2D

注:175nm以下のフィルターの基板材料はCaF2、175nm以上はフューズドシリカです。


 

広帯域UV-NIR NDフィルター

Teledyne Acton Opticsの広帯域UV-NIR用NDフィルターは、190nmから1700nmまでの一定の透過率、UVからNIRまでの一貫した減衰率、そして優れた光学性能と波面品質を実現しています。このNDフィルターは、キセノン、重水素、タングステン・ハロゲンなどの広帯域光源に最適で、精密光学系、分光器、医療機器などに多く使用されています。
このUV-NIRフィルターのユニークな広帯域性能は、他社には真似できないものです。当社は、特許取得済みのUVコーティングプロセスを採用することで、190nmまでの広帯域の中性濃度性能を実現しています。当社独自のフィルターコーティングは、OEMアプリケーション用にカスタムサイズの基板に蒸着することができ、必要に応じて他の光学密度値に設計することもできます。詳細についてはお問い合わせください。

このフィルターコーティングは、OEM用にカスタムサイズの基板で供給できます。
広帯域UV-NIR NDフィルター

Optical
Density
Nominal
Transmission
Transmission
Range
0.5"
Part Numbers
1.0"
Part Numbers
2.0"
Part Numbers
0.3 50% 47-54% FND0.3-.5D-BB FND0.3-1D-BB FND0.3-2D-BB
0.5 32% 28-35.5% FND0.5-.5D-BB FND0.5-1D-BB FND0.5-2D-BB
1.0 10% 8-12.5% FND1.0-.5D-BB FND1.0-1D-BB FND1.0-2D-BB
1.3 5.0% 4-6% FND1.3-.5D-BB FND1.3-1D-BB FND1.3-2D-BB
1.5 3.0% 2.5-4.5% FND1.5-.5D-BB FND1.5-1D-BB FND1.5-2D-BB
2.0 1.0% 0.6-0.1.6% FND2.0-.5D-BB FND2.0-1D-BB FND2.0-2D-BB
2.5 0.3% 0.24-0.36% FND2.5-.5D-BB FND2.5-1D-BB FND2.5-2D-BB
仕様:  
材料 UV fused silica
外径公差 +0.00/-0.005”
厚さ公差 +/-0.25mm
表面品質 <2 waves @ 633nm both sides
平行度 3 arc min
スクラッチ / ディグ 20-10
面取り 0.5mm x 45 degrees
有効径 Central 90% min.
入射角 Normal
コーティング ハイブリッド メタリック
外径公差 +/- 10%
波長領域 190 - 1700nm

◉ 190 nmから1700 nmまでのユニークな広帯域ND性能
◉ 0.3 ODから2.5 ODまでの様々な標準密度が利用可能
◉ 1/10波長の優れた光透過性
◉ カスタム密度にも対応







 

ソーラーブラインドフィルター

米国の宇宙開発計画のために設計された、ユニークな「超広帯域」UV/VUVフィルターは、幅広い帯域のUV/VUV放射を分離するのに役立ちます。超広帯域(VBB)フィルターは、指定された帯域で平均10~20%の広帯域透過率を実現しています。
透過率は500nmで約5x10-3です。120nm付近の波長で基板が吸収されるため、一般的にカバーリングやエッジシールができないため、このオープンフェイスデザインのコーティング面に接触しないように注意する必要があります。モデル170-VBBはオープンフェイスで製造されていますが、コーティングされた表面を保護するためにカバーやエッジシールを施すことができます。

モデル120-VBB:120nm~250nmの平均透過率は10~20%。
モデル170-VBB:170 nm - 300 nmの平均透過率10-20%。

アクトン標準フィルター基材上のソーラーブラインドフィルター

Wavelength
Range
Average
Transmission
0.5"
Part Numbers
1.0"
Part Numbers
2.0"
Part Numbers
120-250nm 10-20% FB120-VBB-0.5D FB120-VBB-1D FB120-VBB-2D
170-300nm 10-20% FB170-VBB-0.5D FB170-VBB-1D FB170-VBB-2D

注:部品番号FB120-VBBの基板材料、FB170-VBBのUV-Grade MgF2とフューズドシリカ。