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3軸 ステージ システム

PIEZOCONCEPT

3軸 ステージ システム

LT3

20mmの薄型3軸ステージ（X、Y、Z）。倒立顕微鏡への組み込みが容易で、粗動位置決めステージと組み合わせることがほとんどです。

コントローラ付属（USBはオプション）

LT3は、主に倒立顕微鏡に組み込むために設計された3軸の超低背型ナノポジショナーです。このピエゾステージは粗動用のマイクロステージと組み合わせることができます（ハイブリッドシステムを参照）。

標準のLT3はアルミニウム製ですが、ブルカーAFMのアップグレード用に、より熱安定性の高いインバー製のLT3.100（100μmバージョン）が用意されています。





BIO3

あらゆる倒立顕微鏡に組み込むことができる超薄型3軸ナノポジショナーです。長方形の開口部には顕微鏡スライドが収納可能です。
粗動用マイクロステージとの組み合わせが可能です。

コントローラ付属（USBはオプション）

BIO3 は、あらゆる倒立顕微鏡に組み込むことができるように設計された超薄型 3 軸ナノポジショナです。
顕微鏡のスライドは、長方形の開口部に収まります。このピエゾステージは、粗動用マイクロステージと組み合わせることができます（ハイブリッドシステムを参照）。
標準のBIO3はアルミニウム製です。BIO3.100（100μmバージョン）はインバー製で、より熱安定性が高く、ブルカーAFMのアップグレードなどのアプリケーションに最適です。



LF3

開口部66mm角のコンパクトな3軸ピエゾステージ。
粗動用マイクロステージとの組み合わせが可能です。

コントローラ付属（USBはオプション）

LF3は3軸のナノポジショナーで、XとY方向に100、200、300μm、Z方向に50μmの移動量を持ち、66×66mmの大きなアパーチャーを備えています。このピエゾステージは、粗動用のマイクロステージと組み合わせることができます（ハイブリッドシステムをご覧ください）。





LFS3

40×40mmのアパーチャーを持つ3軸ナノポジショナー。

コントローラー付属（USBはオプション）

LFS3は3軸のナノポジショナーで、XとY方向に100μm、Z方向に20μmの移動量を持ち、40×40mmのアパーチャを備えています。
このピエゾステージは、粗動用のマイクロステージと組み合わせることができます。




LFHS3

66×66mmの大口径で、両軸とも2kHz以上の共振周波数を持つ3軸超高速ナノポジショナ。
粗動用マイクロステージとの組み合わせが可能です。

コントローラ付属（USBはオプション）

LFHS3は、3軸の超高速ナノポジショナーで、X、Y方向に最大75μm、Z方向に最大50μmの移動量を持ち、66×66mmの大きなアパーチャーと全軸で1.5kHz以上の共振周波数が特徴です。このピエゾステージは、粗動用のマイクロステージと組み合わせることができます（ハイブリッドシステムをご参照ください）。

高速タイプ（ハイパワーコントローラ対応）のナノポジショナです。ハイパワーコントローラを使用することにより、高速スキャン、ステップ応答時間2ms以下が可能です。





LTHS3

薄型（20mm）3軸高速ステージです。倒立顕微鏡への組み込みが容易で、粗動用マイクロステージと組み合わせて使用されることがほとんどです。

コントローラーが付属しています（USBはオプション）

LTHS3は、X、Y、Zの3軸ステージで、X、Yは最大75μm、Zは最大50μmの可動範囲を持ちます。薄型（22.3mm）のため、倒立顕微鏡への組み込みが容易で、ほとんどの場合、粗動用マイクロステージ（ハイブリッドシステム参照）と一緒に使用できます。

このナノポジショナーは、当社の高速度製品（ハイパワーコントローラーもあります）の一部です。





C3

3軸のコンパクトなナノポジショナー。光ファイバーアライメント、2光子重合、レーザー描画などのアプリケーションに最適です。

コントローラ付属（USBはオプション）

C3は、コンパクトな形状を保ちながら、100μmまたは200μmの移動範囲を提供するために特別に設計されています。2軸タイプ（C2）のほか、X軸（CX）、Z軸（CZ）の1軸タイプもご用意しています。

ファイバーアライメントやレーザー描画用途で圧倒的な支持を得ています。






SPM3

3軸の超高速ナノポジショナです。
SPM3ステージのZ軸は、最大50µmの移動範囲を持ち、市場最高の速度性能を提供します（最大12.5kHzの共振周波数）。原子間力顕微鏡のような要求の厳しい計測アプリケーション向けに設計されています。

コントローラーが付属しています（USBはオプション）

SPM3ステージは、3軸の超高速ナノポジショナーで、X軸とY軸で最大75µmの移動範囲を持ち、両軸で2kHzを超える共振周波数を実現しています。
SPM3ステージのZ軸は、最大50µmの移動範囲を持ち、共振周波数は最大12.5kHzと、市場で最も高速な機能を提供する。実際、ハイパワーコントローラを使用した場合、SPM3.5のZ軸のステップ応答時間はミリ秒よりも小さくすることが可能です。このため、SPMステージは、原子間力顕微鏡のような要求の厳しい計測アプリケーションに特に適しています。

また、粗動用マイクロステージとの組み合わせも可能です（ハイブリッドシステム参照）。このナノポジショナーは、当社の高速度製品（ハイパワーコントローラ対応）の一部です。







SPM3LR

3軸の超高速ナノポジショナです。
SPM3LRステージのZ軸は、最大50µmの移動範囲を持ち、市場最高水準の速度（最大12.5kHzの共振周波数）を提供します。原子間力顕微鏡のような要求の厳しい計測アプリケーション向けに設計されています。

コントローラ付属（USBはオプション）

SPM3LRステージは3軸のナノポジショナーで、XとYの移動範囲は100µm、200µm、300µmです。
SPM3LRステージのZ軸は、最大50µmの移動範囲を持ち、最大共振周波数12.5kHzと市場で最も高速な機能を提供します。SPM3LR.xxx.05のZ軸のステップ応答時間は、1ミリ秒未満にすることができます。
SPM3LRは、原子間力顕微鏡のような要求の厳しい計測アプリケーションに特に適しています。

このピエゾステージは、粗動位置決め用マイクロステージ（ハイブリッドシステム参照）と組み合わせて提案することが可能です。







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